Principaux Equipements

Banc de lithographie interférentielle

Banc de lithographie interférentielle

Système comprenant une table optique, un laser et des éléments d'optique. Possibilité d'illuminer un échantillon par un réseau d'interférences de pas allant d'une dizaine de microns à une centaine de nanomètres. Ces interférences permettent de polymériser une résine photosensible préalablement déposée sur l'échantillon et donc, de graver mes microgrilles de même pas que les franges d'interférence.

Caméra CCD Basler A103p 1,3 Mpixels

Caméra CCD Basler A103p 1,3 Mpixels

Caméra CCD Basler A103p 1,3 Mpixels

Camera CCD haute résolution Imperx 11 Mpixels

Camera CCD haute résolution Imperx 11 Mpixels

Camera CCD haute résolution Imperx 11 Mpixels. Logiciels de corrélation d'images 2D Correli et Vic2D pour mesures de déplacements plans.

Caméra CCD Jai CVM4+ 1,3 Mpixels

Caméra CCD Jai CVM4+ 1,3 Mpixels

Caméra CCD Jai CVM4+ 1,3 Mpixels. Montage typique pour mesures de champs de déplacements plans par méthode de la grille.

Caméra CCD refroidie PCO Sensicam QE 1,3 Mpixels

Caméra CCD refroidie PCO Sensicam QE 1,3 Mpixels

Caméra CCD refroidie PCO Sensicam QE 1,3 Mpixels. Rapport signal sur bruit amélioré par le refroidissement du capteur CCD.

Caméra infrarouge CEDIP Jade III

Caméra infrarouge CEDIP Jade III

Caméra infrarouge CEDIP Jade III pour mesures de dissipation dans les matériaux ou mesures de champs de déformations par thermoélasticité.

Microscope interférométrique en lumière blanche VEECO NT3300

Microscope interférométrique en lumière blanche VEECO NT3300

Interféromètre en lumière blanche permettant de mesurer le profil d'une surface réfléchissante avec une résolution verticale de l'ordre de quelques nanomètres. Permet par exemple de numériser les microgrilles gravées par le système de photolithographie (testées avec la petite machine de traction, comme sur la photo) ou de mesurer des états de surfaces de pièces usinées.

 

(Equipement commun à la plateforme "Métrologie")

Système d

Système d'interférométrie de speckle Dantec Dynamics Q-300

Permet la mesure en statique des trois composantes du champs de déplacement en surface avec une résolution de l'ordre d'une centaine de nanomètres, sur des surfaces allant du mètre carré au centimètre carré.

Système de stéréovision CCD Jai Pulnix TM4200CL 4 Mpixels

Système de stéréovision CCD Jai Pulnix TM4200CL 4 Mpixels

Système de stéréovision CCD Jai Pulnix TM4200CL 4 Mpixels. Logiciel de stéréo-corrélation d'images VIC3D.

Système d’acquisition de données analogiques et extensométriques

Système d’acquisition de données analogiques et extensométriques

Système d’acquisition de données analogiques et extensométriques. 12 voies pour jauges de déformation et 4 voies pour signaux analogiques.

Vibromètre laser Polytec PDV 100

Vibromètre laser Polytec PDV 100

Vibromètre laser Polytec PDV 100. Mesures dynamiques de déplacements hors-plans sur éprouvettes ou structures vibrantes.